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納米二氧化硅復合拋光液如何改性

公開了一種改性納米二氧化硅復合拋光液,由下列質量重量份的原料制備:金剛石微粉、納米二氧化硅、表面活性劑、分散劑、去離子水、穩定劑、PH調節劑組成;其制備步驟如下:

(1)改性:將表面活性劑、納米二氧化硅依次置于水中超聲分散

;(2)分散:將金剛石微粉加入分散后的納米二氧化硅溶液中超聲分散;

(3)混合:依次向分散好的復合拋光液中加入分散劑、穩定劑;

(4)調PH:使用pH調節劑調節復合拋光液的PH值;

(5)過濾、保存:將改性納米二氧化硅復合拋光液反復過濾,過濾完畢的拋光液于PE材質塑料桶中密封保存。本發明專利技術產品應用于熔石英元件表面的納米射流拋光,拋光后的熔石英鏡面表面質量高,鏡面損傷低,激光損傷閾值高。

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