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拋光墊的作用

拋光墊,其包含一具有一頂部表面和一底部表面的主體,所述頂部表面包含一具有一第一深度和第一寬度的第一組凹槽,所述底部表面包含一具有一第二深度和第二寬度的第二組凹槽,其中所述第一組凹槽與第二組凹槽互連并以使其不對準的方式定向。
拋光墊,其包含一主體,所述主體具有:(a)一頂部表面,其包含一具有一第一深度和第一寬度的第一組凹槽;和(b)一底部表面;其包含一具有一第二深度和第二寬度的第二組凹槽,其中所述第一組凹槽和第二組凹槽互連并以使其不對準的方式定向。

拋光墊的作用
①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區域;
②將拋光后便化學反應充分進行;的反應物、碎屑等順利排出,達到去除效果;
③維持拋光墊表面的拋光液薄膜, 以便化學反應充分進行;
④保持拋光過程的平穩、表面不變形, 以便獲得較好的晶片表面形貌;

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